avguy-25.jpg

 

 

 

KLA Axion T2000.png

 

 

KLA 코퍼레이션은 첨단 메모리 반도체 칩 제조업체를 위한 혁신적인 엑스레이 계측 시스템 Axion T2000을 출시한다고 밝혔다. 

 

3D NAND 및 DRAM 반도체 칩 제조는 깊고 좁은 홀(hole)과 트렌치(trench), 기타 복잡한 구조적 형상을 가진 매우 높은 구조의 정밀한 형성이 수반되며, 이들 모두 나노미터 수준에서 제어가 필요하다. 

 

Axion T2000은 해상도, 정확도, 정밀도 및 속도의 전례 없는 조합으로 높은 종횡비 소자 형상을 측정할 수 있는 능력을 강화하는 특허 기술을 갖추고 있다. Axion T2000은 이를 기반으로 메모리 반도체 칩 성능에 영향을 줄 수 있는 형상의 미세한 이상을 발견함으로써, 은 5G, 인공 지능(AI), 데이터 센터, 엣지 컴퓨팅과 같은 응용 분야에 사용되는 메모리 반도체 칩을 성공적으로 생산할 수 있게 해준다는 것이 회사 측의 설명이다. 

 

Axion T2000은 CD-SAXS(critical-dimension small angle X-ray scattering) 시스템으로 업계 고유의 엑스레이 기술을 활용하여 임계 치수의 고해상도 측정값을 생성하고 메모리 디바이스 형상에 대한 3D 형상을 제공한다. 높은 선속 광원(flux source)은 전체 수직 메모리 구조를 통해 투과되는 엑스레이를 제공하며, 이는 현재 높이가 얼마나 높은지 또는 향후 복잡한 소자 형상을 측정할 수 있다. 업계 최고의 동적 범위를 갖춘 측정 받침대는 여러 각도로 회절 이미지를 얻어 풍부한 3D 기하학 정보를 렌더링 하는데 도움을 준다. 

 

또한, 새로운 AcuShape 알고리즘은 수많은 임계 소자 변수 측정을 촉진하고 최종 메모리 반도체 칩 기능에 영향을 줄 수 있는 미세한 변화를 추출해낸다. 이러한 혁신과 함께 Axion T2000은 비파괴적으로 입체적 계측 데이터를 생산해 메모리 반도체 제조회사가 주요 공정 단계를 인라인 최적화하고 모니터링하며 제어할 수 있도록 돕는다.

 

주요 메모리 반도체 제조사에서 여러 시스템이 운용되고 있는 Axion T2000은 KLA의 첨단 계측 시스템 제품군과 함께 3D NAND 및 DRAM 제조사를 위한 복합 변수들을 정확하게 측정할 수 있는 기능을 제공한다. 초기 연구개발부터 양산에 이르기까지 모든 범위의 계측 응용분야를 다루는 KLA의 포괄적인 계측 포트폴리오는 빠른 생산 증대와 소자 품질 향상을 이끌어 내고 생산 수율을 높이는 정보를 생산한다. 

 

KLA의 아흐마드 칸(Ahmad Khan) 반도체 공정 제어 사업부 대표는 "새로운 Axion T2000 엑스레이 계측 시스템은 첨단 3D NAND 및 DRAM 디바이스의 제조 중에 인라인 공정 제어를 위한 게임 체인저"라며, "투과 엑스레이 기술을 사용해, Axion T2000은 100:1 또는 그 이상의 비율로 높은 종횡비 구조의 완전한 3D 시각화를 빠르게 생성한다. Axion 데이터는 이러한 극단적인 수직 형상의 최상단에서 최하층에 이르기까지 폭, 형상, 기울기와 같은 임계 변수를 엄격하게 제어할 수 있게 해준다. 또한 인라인 측정을 통해 Axion은 메모리 반도체 칩의 대량생산 중에 발생하는 중대한 수율 및 신뢰성 문제를 해결하는데 필요한 주기시간을 단축한다"고 밝혔다.

 

피엔에프뉴스 pnfnews@pnfnews.com

TAG •

  1. 온세미, 엘리트 실리콘 카바이드 제품군 선보여

    온세미는 실리콘 카바이드(SiC) 제품군으로 엘리트 실리콘 카바이드(이하 EliteSiC)를 공개했다. 온세미는 미국 라스베가스에서 열리는 CES에서 새로운 제품 3가지인 1700 ...
    Date2023.01.04
    Read More
  2. ADI-씨잉 머신즈, ADAS 주행 안전 강화 맞손

    아나로그디바이스(ADI)는 고성능 운전자 및 탑승자 모니터링 시스템(DMS/OMS) 기술을 지원하기 위해 씨잉 머신즈와 협력한다고 밝혔다. 이번 협업은 ADI의 첨단 적외선 드라...
    Date2023.01.04
    Read More
  3. 사피온, NHN 클라우드와 패션 특화 AI 서비스 검증 완료

    사피온(www.sapeon.com)은 AI 반도체인 ‘사피온 X220’을 도입한 NHN 데이터센터에서 패션 특화 AI 서비스인 ‘버츄얼 트라이온’을 제공하기 위한 기...
    Date2022.12.29
    Read More
  4. 유니버설 로봇, ‘2023 자동화 트렌드 5’ 제시

    유니버설 로봇이 2023년 자동화 시장의 핵심 키워드와 주요 전망을 28일 발표했다. 유니버설 로봇 전략 및 혁신담당 부사장 안더스 벡(ANDERS BILLESØ BECK)에 따르...
    Date2022.12.28
    Read More
  5. ACM 리서치, PECVD 시장으로 확장

    ACM 리서치는 Ultra Pmax PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비를 새롭게 출시하고, 자사의 주요 제품 범주를 더욱 확장한다고 밝혔다. ULTRA Pmax PECV...
    Date2022.12.28
    Read More
  6. 키사이트-노키아 벨연구소, 5G-Advanced 및 6G 가속화 협업

    키사이트테크놀로지스가 노키아 벨연구소에서 5G Advanced 및 6G 트랜스시버(TRX) 모듈의 성능 검증을 위해 키사이트 서브테라헤르츠(sub-THz) 테스트베드를 선택했다고 발...
    Date2022.12.22
    Read More
  7. 마우저, 자동차 외부 조명 ’ams 오스람‘ 제품 공급

    마우저 일렉트로닉스는 ams 오스람의 OSLON Black Flat X LED 장치를 공급한다고 밝혔다. OSLON Black Flat X LED 장치는 전조등, 야간 투시경, 레이저 장치를 포함한 전방...
    Date2022.12.22
    Read More
  8. 노르딕 세미컨덕터, ‘DECT 포럼’ 합류

    노르딕 세미컨덕터는 20일 산업 표준인 DECT(Digital Enhanced Cordless Telecommunications) 개발과 최신 표준인 DECT NR+ 채택을 주도하고 있는 ‘DECT 포럼(www.dec...
    Date2022.12.20
    Read More
  9. 유블럭스, 신임 CEO에 ‘슈테판 지잘라’ 선임

    유블럭스는 신임 CEO로 슈테판 지잘라(Stephan Zizala)가 임명되었다고 발표했다. 신임 슈테판 지잘라 CEO 내정자는 산업 및 자동차 분야에서의 글로벌 고객 경험을 비롯하...
    Date2022.12.20
    Read More
  10. IAR-CAES, NOEL-V 지원

    IAR 시스템즈는 CAES의 결함 검사 프로세서 설계 센터인 가이슬러(Gaisler)와 함께 새로운 협력 관계를 출범한다고 밝혔다. 이에 따라 가이슬러가 이미 제공하고 있는 광범...
    Date2022.12.16
    Read More
  11. 키사이트, 2023 디바이스모델링 SW 출시

    키사이트테크놀로지스가 전체 워크플로에 걸쳐 향상된 자동화로 반도체 디바이스 모델링 엔지니어의 생산성을 높일 수 있는 새로운 모델 생성기(MG) 환경을 발표했다. 반도...
    Date2022.12.14
    Read More
  12. 마우저-바이코, 개발자를 위한 48V 사이트 선보여

    마우저 일렉트로닉스는 바이코와 공동으로 48V 제품 및 전원 설계를 위한 다양한 리소스를 제공하는 새로운 리소스 사이트를 선보인다고 밝혔다. 이 사이트(https://manufa...
    Date2022.12.14
    Read More
  13. ADI, ‘인텔리전트 에지 라이프’ 시연 나서

    아나로그디바이스(ADI)가 시연과 전문가 토론을 통해 인텔리전트 에지(Intelligent Edge) 라이프를 선보인다. ADI는 CES 2023의 라스베이거스 컨벤션 센터 웨스트 홀에 마련...
    Date2022.12.14
    Read More
  14. 모싸, 차기 IIoT 게이트웨이 ‘AIG-100’ 시리즈 발표

    모싸(Moxa)는 태양광 에너지 및 에너지 스토리지 시스템의 분산 에너지 자원 애플리케이션을 위해 낮은 총 소유비용(TCO)으로 IIoT 목표 달성을 지원하는 동급 최상의 IIoT...
    Date2022.12.14
    Read More
  15. 윈드리버 헬릭스, 11세대 인텔 프로세서 지원

    윈드리버는 자사의 가상화 플랫폼 ‘윈드리버 헬릭스(Wind River Helix)’가 인텔 제온 D-1700과 D-2700 프로세서, 그리고 11세대 인텔 코어 프로세서를 지원한다...
    Date2022.12.13
    Read More
  16. IAR 시스템즈, IAR 빌드 및 IAR C-SPY 디버그 익스텐션 업데이트

    IAR 시스템즈(www.iar.com)는 비주얼 스튜디오 코드로 작업하는 임베디드 개발자를 위한 추가 지원을 제공한다고 밝혔다. 최신 IAR 빌드 및 IAR C-SPY 비주얼 스튜디오 코드...
    Date2022.12.08
    Read More
  17. KLA, 엑스레이 계측 시스템 ‘Axion T2000’ 출시

    KLA 코퍼레이션은 첨단 메모리 반도체 칩 제조업체를 위한 혁신적인 엑스레이 계측 시스템 Axion T2000을 출시한다고 밝혔다. 3D NAND 및 DRAM 반도체 칩 제조는 깊고 좁은...
    Date2022.12.07
    Read More
  18. 래티스, 아반트 앞세워 미드레인지 FPGA 시장 정조준

    래티스 반도체가 전력 효율, 소형 폼팩터, 고성능으로 무장한 새로운 FPGA 플랫폼을 선보이며 저전력 리더십 확장과 미드레인지 시장 공략이라는 두 마리 토끼 잡기에 나선...
    Date2022.12.06
    Read More
  19. AMD-비엣텔, 5G 모바일 네트워크 확장

    AMD와 비엣텔 하이테크(비엣텔 그룹 계열사)는 AMD 자일링스(Xilinx)의 징크 울트라스케일+(Zynq UltraScale+) MPSoC 디바이스에 기반한 비엣텔의 5G 모바일 네트워크 현장 ...
    Date2022.12.02
    Read More
  20. 마우저, 자동차 설계 트렌드 관련 리소스 제공

    마우저 일렉트로닉스는 구매 전문가와 엔지니어에게 자동차 솔루션의 차세대를 선도하는 데 필요한 리소스와 신제품을 제공한다고 밝혔다. 해당 리소스에는 운전자 모니터링...
    Date2022.12.01
    Read More
Board Pagination Prev 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ... 22 Next
/ 22

서비스 링크

X
Login

브라우저를 닫더라도 로그인이 계속 유지될 수 있습니다. 로그인 유지 기능을 사용할 경우 다음 접속부터는 로그인할 필요가 없습니다. 단, 게임방, 학교 등 공공장소에서 이용 시 개인정보가 유출될 수 있으니 꼭 로그아웃을 해주세요.

아이디가 없으신 분은

회원가입 후 이용하실 수 있습니다.

X